EA15-HP5 允許在高達 5 mbar 的靜態和動態環境中進行高分辨率 PES 測量。
該分析儀總共配備了 11 個狹縫,可以在最佳能量分辨率和最佳強度之間進行選擇。根據給定的光電子能量,分析儀設置了多達8個預定義的PE,以滿足客戶的要求。
EA15半球形能量分析儀可由LabVIEW編程環境直接控制。
注意:
建議將μ金屬分析真空室或內部μ金屬屏蔽室與PREVAC EA15-HP1半球形能量分析儀結合使用,以最大程度地減少外部磁場的影響并最大限度地提高分析儀的性能。
套件包括:
- EA15-HP5 150毫米半球形能量分析儀,
- RUDI-EA2高穩定和低噪聲電子,SPECTRIUM采集和分析儀控制軟件,
- 用于Windows操作系統計算機系統,
- 計算機套裝。
技術規格:
安裝法蘭 | DN 100 CF |
烘烤溫度 | 最高 120 °C |
工作距離 | 1-2 毫米(取決于錐體開口) |
分析儀平均半徑 | 150 毫米 |
傳遞能量 XPS XPS/UPS & XPS/UPS/ARPES* | ?20, 50, 100, 200 eV1, 2, 5, 10, 20, 50, 100, 200 eV |
能源分辨率 XPS XPS/UPS &?XPS/UPS/ARPES* | ?< 20 meV FWHM< 3 meV FWHM |
動能范圍 | 0.5 – 3000 eV |
采集模式 | 固定,掃描 |
透射和角度鏡頭模式: ▫鏡頭接受角度(透射模式) | ?+/- 15° |
光圈光圈 | 從 1 毫米到 32 毫米 |
完全由非磁性材料設計 |
探測器:
- MCP-CCD 探測器
– 40 mm 直徑雙 MCP 探測器
– 656 個能量通道同時可用
– 494 個角度通道同時可用
– 90 fps - ?7-MCD 探測器(用于特高壓)
- Detektor DLD(用于 UHV)
– 固定模式下的最大能量窗口:~17% 通過能量
– 56 mm 直徑探測器,帶 7 個通道加速器
– 施加電壓:2.5-3.5 kV
選項:
EA15-HP5
3級泵送系統的泵送系統,帶有所有必要的泵,壓力測量系統和附件,使分析儀能夠在要求的壓力范圍內工作(從UHV到5毫巴)。系統包括:
- 分析儀泵送系統第一級(透鏡)
- HiPace 300 渦輪分子泵(N 的抽速為 260 l/s2)
- 增值稅閘閥 DN 100CF – 用于 TMP 泵的氣動閥
- nXDS6i 愛德華茲前真空干泵(標稱抽速為 6 m3/h)
- 油管和布線,
- 自動安全閥和排氣閥,
- 分析儀泵送系統第二級(透鏡)
- HiPace 300 渦輪分子泵(N 的抽速為 260 l/s2)
- 增值稅閘閥 DN 100CF – 用于 TMP 泵的氣動閥
- 自動安全閥和排氣閥,
- 分析儀泵送系統第三級(半球)
- HiPace 300 渦輪分子泵(N 的抽速為 260 l/s2) 帶減速器
- 增值稅閘閥 DN 63CF – 用于 TMP 泵的氣動閥
- nXDS6i 愛德華茲前真空干泵(標稱抽速為 6 m3/h)
- 油管和布線,
- 自動安全閥和排氣閥,
- 真空計
- 3x 皮拉尼真空計 TTR91N,用于前真空,
- 3x PTR90N – 寬量程儀表
- 用于控制泵送系統的電子微處理器設備(前真空泵、特高壓泵、閥門和真空計)。該裝置包括多個聯鎖裝置,用于在電源故障或其組件發生故障時保護真空系統。
- 分析室和分析儀之間的旁路:管道和安全閥