波蘭 PREVAC, 傳輸系統(tǒng),徑向分配系統(tǒng),用于在與其相連的多個(gè)分析,沉積或制備室之間轉(zhuǎn)移樣品

波蘭 PREVAC, 傳輸系統(tǒng),徑向分配系統(tǒng),用于在與其相連的多個(gè)分析,沉積或制備室之間轉(zhuǎn)移樣品

徑向分配系統(tǒng)

設(shè)計(jì)用于在與其相連的多個(gè)分析、沉積或制備室之間轉(zhuǎn)移樣品。

這些腔室通常安裝在一系列腔室的中心,作為集群工具的中央分配樞紐。RDC 腔室的運(yùn)輸和旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)可將樣品可重復(fù)且準(zhǔn)確地轉(zhuǎn)移到其他腔室。徑向分配室機(jī)構(gòu)是線性齒輪齒條運(yùn)輸車(chē)的發(fā)展,其中單端齒輪齒條通過(guò)精密旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)器精確旋轉(zhuǎn),直到它在徑向端口的預(yù)設(shè)位置對(duì)齊。一旦鎖定到位,相同的旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)器就會(huì)通過(guò)端口將機(jī)架移出.


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