波蘭 PREVAC, 傳輸系統,線性傳輸,設計用于在 UHV 條件下在腔室之間運輸樣品架/樣品。

波蘭 PREVAC, 傳輸系統,線性傳輸,設計用于在 UHV 條件下在腔室之間運輸樣品架/樣品。

設計用于在 UHV 條件下在腔室之間運輸樣品架/樣品。

它們通常用于將樣品從負載鎖室轉移到 UHV 系統主室。線性輸送由研究平臺泵送系統泵送,或者使用專用泵組進行泵送。傳輸機構的整個運動范圍都是通過旋轉運動饋通實現的。傳輸運動的范圍為 450 至 1600 毫米。

有兩種類型的線性傳輸可用:
? 1 軸 – 僅向前移動,
? 2 軸 – 向前移動并圍繞運動軸連續旋轉。


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