EA15-HP5允許在高達(dá)5毫巴的靜態(tài)和動(dòng)態(tài)環(huán)境中進(jìn)行高分辨率PES測(cè)量。
描述
分析儀配備了總共11個(gè)狹縫,可以在最佳能量分辨率和最佳強(qiáng)度之間進(jìn)行選擇。根據(jù)給定的光電子能,分析儀配備了多達(dá)8個(gè)預(yù)定義的PE,以滿足客戶的要求。
EA15半球能量分析儀可以通過(guò)LabVIEW編程環(huán)境直接控制。
注:
建議使用μ金屬分析真空室或內(nèi)部μ金屬屏蔽室與PREVAC EA15-HP1半球形能量分析儀結(jié)合使用,以盡量減少外部磁場(chǎng)的影響,并最大限度地提高分析儀的性能。
套餐包括:
▪ EA15-HP5 150mm半球形能量分析儀,
▪ RUDI-EA2高穩(wěn)定性和低噪聲電子設(shè)備,
▪ 用于Windows操作系統(tǒng)的SPECTIUM采集和分析儀控制軟件,
▪ 電腦套裝。
探測(cè)器
?MCP-CCD探測(cè)器
–直徑40mm的雙MCP探測(cè)器
–656個(gè)能量通道同時(shí)可用
–494個(gè)角通道同時(shí)可用
–90幀/秒
?7-MCD探測(cè)器(用于特高壓)
?檢測(cè)器DLD(用于特高壓)
–固定模式下的最大能量窗口:約17%的通過(guò)能量
–直徑為56毫米的探測(cè)器,配備7個(gè)通道加速器
–施加電壓:2.5-3.5 kV
選項(xiàng)
EA15-HP5泵送系統(tǒng)
3級(jí)泵送系統(tǒng),配備所有必要的泵、壓力測(cè)量系統(tǒng)和附件,使分析儀能夠在要求的壓力范圍內(nèi)工作(從特高壓到5毫巴)。系統(tǒng)由以下部分組成:
分析器(透鏡)泵浦系統(tǒng)的第一級(jí)
HiPace 300渦輪分子泵(N2的泵送速度為260 l/s)
TMP泵用VAT閘閥DN 100CF-el氣動(dòng)
nXDS6i Edwards前真空干燥泵(標(biāo)稱泵送速度為6m3/h)
管道和接線,
自動(dòng)安全閥和排氣閥,
分析器(透鏡)泵浦系統(tǒng)的第二級(jí)
HiPace 300渦輪分子泵(N2的泵送速度為260 l/s)
TMP泵用VAT閘閥DN 100CF-el氣動(dòng)
自動(dòng)安全閥和排氣閥
分析儀泵送系統(tǒng)的第三級(jí)(半球)
HiPace 300渦輪分子泵(N2的泵送速度為260 l/s),帶減速器
TMP泵用VAT閘閥DN 63CF–el氣動(dòng)
nXDS6i Edwards前真空干燥泵(標(biāo)稱泵送速度為6m3/h)
管道和接線,
自動(dòng)安全閥和排氣閥,
真空計(jì)
3x皮拉尼真空計(jì)TTR91N用于前真空,
3x PTR90N–寬量程儀表
控制泵送系統(tǒng)(前真空泵、特高壓泵、閥門和真空計(jì))的電子微處理器裝置。該裝置包括幾個(gè)聯(lián)鎖裝置,用于在停電或其組件發(fā)生故障時(shí)保護(hù)真空系統(tǒng)。
分析室和分析儀之間的旁路:管道和安全閥
技術(shù)參數(shù)
Mounting flange | DN 100 CF |
Bakeout temperature | up to?120 °C |
Working distance | 1-2 mm (dependent on cone opening) |
Analyser mean radius | 150 mm |
Pass energies XPS XPS/UPS?&?XPS/UPS/ARPES* | 20, 50, 100, 200 eV |
Energy resolution XPS XPS/UPS?&?XPS/UPS/ARPES* | < 20 meV FWHM |
Kinetic energy range | 0.5 – 3000 eV |
Acquisition modes | fixed, scan |
Transmission and angular lens mode: ▫ lens acceptance angle (transmission mode) | +/- 15° |
IRIS aperture | from 1 mm to 32 mm |
Completely designed of non-magnetic materials |