波蘭 PREVAC Quartz balance QO 40A1 石英天平 QO 40A1

Quartz Balance QO 40A1 石英天平 QO 40A1在沉積過程中提供涂層厚度的實(shí)時、漸進(jìn)指示，以實(shí)現(xiàn)涂層生產(chǎn)的高精度和可重復(fù)性。

描述

可以監(jiān)測蒸發(fā)和濺射鍍膜的厚度。傳感器頭是一個水冷的非磁性外殼，永久地放置在真空系統(tǒng)中。晶面與水冷饋通管平行。石英天平QO 40A1安裝在DN 40CF法蘭上，帶有兩根?6管和Microdot S-50同軸連接器。定制插入長度130-500毫米（根據(jù)要求提供其他插入長度）。

特性

集水傳感器頭
易于更換的石英

選項(xiàng)

定制插入長度
有或沒有集成手動/電動氣動百葉窗不同的安裝法蘭（例如DN 40 KF）
根據(jù)要求提供其他石英天平幾何形狀（例如垂直頭幾何形狀）
線性移位

技術(shù)參數(shù)

Mounting flangeDN 40CF (rotatable)
Max. operation temperatureup to?300°C (with water cooling)
Water cooling (required)water flow > 0.5 l/min
temperature: 20 – 30 °C
max pressure: 6 bar
Crystal frequency?4.8 – 6 MHz, 14 mm diameter (industry standard)
Insertion lengthdependent on specification and geometry of the chamber
Bakeout temperatureup to?150 °C

Related posts