波蘭PREVAC分析系統(tǒng) 多功能特高壓系統(tǒng)

描述

用于以下研究的多功能特高壓系統(tǒng)：

  • 電子和光子與來自（超音速）交叉分子束的原子、分子和簇的相互作用
  • 各種等離子放電
  • 加速原子、分子和帶電粒子與表面的相互作用
  • 表面吸附/解吸過程
  • 薄膜沉積
  • 原位測(cè)定薄膜的幾何形狀、結(jié)構(gòu)、組成和性能

規(guī)格

每個(gè)室和分析室之間的原位樣品轉(zhuǎn)移。配備組合電子光譜技術(shù)（Auger、XPS、UPS
） 帶脈沖噴嘴源的噴嘴室 (NC) 用于超音速分子束 (SMB) 生產(chǎn)，包括：

  • 脈沖噴嘴 -（壓力高達(dá) 10 bar，開啟時(shí)間 0.1 – 10 毫秒，頻率 1-100Hz）
  • 真空條件下沿 X（最大 70 毫米）、Y（最大 10 毫米）和 Z（最大 10 毫米）的噴嘴傳輸系統(tǒng)
  • 固定撇渣器
  • 藍(lán)寶石窗口 (DN 64 – 100)
  • 與真空紫外光譜儀連接的中間裝置
  • NC 連接到單獨(dú)的真空室，用于初始?xì)怏w混合物制備（壓力 0.001 – 1500 Torr）
  • 中間室 (IC)
  • TOF 質(zhì)譜儀的離子光學(xué)系統(tǒng)。TOF m/s – 1-10 000 amu M/dM ~ 2000
  • 藍(lán)寶石窗口 (DN 64-100)
  • 電子槍（Uak= 0-300 V，HW= 0.1 eV）
  • TPD/S 光譜儀（樣品的時(shí)間程序加熱 + 四倍 m/s） – 精確的可移動(dòng)樣品架，可將樣品安裝在分子束軸上
  • 將樣品從 IC 移至分析室 (AC) 的傳輸系統(tǒng)
  • 用于薄膜沉積的積液池
  • 離子槍（清潔樣品表面）

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