多室特高壓系統。

傳輸系統

PTS 樣品架。

系統配置

– 兩級制備室：

• 具有 LN2 冷卻和可加熱至 2000°C 的高精度 5 軸機械手
• LEED/螺旋鉆
• 電子束蒸發器
• 沉積速率測量系統：石英平衡和厚度監視器
• 電子束蒸發器
• 氣體加藥系統

– 徑向分布室，用于在特高壓條件下在連接室之間轉移樣品

– 分析室：

• 具有 LN2 冷卻和可加熱至 1200°C 的高精度 5 軸機械手
• 電子分析儀 XPS/UPS
• 用于 XPS 測量的雙陽極 X 射線源
• 帶有用于 UPS 測量的專用泵系統的 UV 源
• 電子源
• 帶專用泵送系統的離子源用于深度分析

– 負載鎖定室

– STM室

– 配件：

• 樣品架組
• 烘烤系統
• 適用于所有電子單元的 19″ 機架式機柜
• 支撐架
• LED照明