描述
定制的多室 UHV 系統，專用于在寬溫度和壓力范圍內研究固態表面的化學和物理特性。
規格
多室系統設計用于在非常好的控制條件下通過不同方法研究和修改固體表面。帶有附加分析室和輔助室的中央徑向分配室滿足這些要求并確保高質量的測量，因為樣品在 UHV 壓力 (<10-10mbar) 下在室之間轉移。分析室中的基礎壓力 < 5*10-11 mbar。
- 多功能分析室集成了標準ESCA、橫向分辨率<9μ的ESCA、AES、ISS和UPS等不同的測量方法。高精度的 5 軸機械手確保樣品的良好定位，并配備有用于 LN2 的低溫恒溫器和用于在很寬的溫度范圍內冷卻和加熱樣品的加熱器。溫度范圍取決于樣品架，可以在 -180°C 到 2000°C 之間變化。腔室由mu金屬制成，配備有半球分析儀和分析設備作為離子源、電子源、泛光槍、X射線源，并為許多其他設備做好準備?？筛鶕蛻粢髮υO備進行改造。
- 變溫 STM/AFM 室安裝在混凝土板上，該板位于帶有隔振系統的單獨框架上。分配室轉移系統允許將樣品架直接放置到 STM/AFM 接收站，其方式與位于其他室中的機械手相同。腔室配有電子束蒸發器，可在測量過程中工作。腔室有自己的用于吸頭和樣品的雜志部件，帶有吸頭加熱站和合適的搖擺棒，用于在雜志和 STM 接收站之間運輸。
- 三級制備室，配備LEED、TDS、離子源、電子束蒸發器、機械表面清潔器和許多可用于未來制備或蒸發裝置的端口。
- 為粉塵樣品泵送準備的負載鎖定室，帶有內部烘烤系統。
- 切割器室用于切割安裝在合適的樣品架上的樣品。
- 高壓室用于加熱至 650°C 并將樣品在受控氣體氣氛中在壓力下冷卻至 2 MPa
- 用于 6 個樣品架的樣品停放室。
- 為了最大限度地減少 AFM/STM 測量過程中的振動，可以關閉所有機械泵，系統中的真空僅由離子泵和鈦升華泵產生。
