描述
Multitechnique UHV 系統提供了廣泛的表面表征技術,包括:
- 單色 X 射線光電子能譜 (XPS)
- 單色紫外光電子能譜 (UPS)
- 角度分辨光電發射光譜 (ARPES)
- 低能電子衍射 (LEED)
- 配備高性能電子能量分析儀 R4000 和 3D 自旋檢測器的多技術分析室
規格
- 安裝在分析室頂部的球形制備室
- 快速加熱高達 2200K 的快速樣品加熱器
- 六軸機械手,LHe 冷卻。溫度低至 9K(開環)
- 帶減薄工具的樣品制備室,LEED 表征
- 徑向分布室的樣品傳輸系統提供最大的靈活性。