描述
用于制備和研究有機薄膜 (OLED) 的定制多室 UHV 系統。
規格
圍繞中央徑向分配室設計的多室系統，帶有連接的分析室和輔助室，以滿足真正的 UHV 條件（壓力低于 10?-10毫巴）下的樣品傳輸需求。由于有機薄膜的性質，快速可靠的樣品轉移是一個關鍵的設計標準。分析室中的基礎壓力 < 1*10?-10?mbar。
- 集成不同表面分析方法的多技術分析室；X 射線光電子能譜 (XPS)、逆光電子能譜 (IPES)、紫外光電子能譜 (UPS) 和電子損耗能譜 (EELS)。樣品定位通過穩定、高精度的 4 軸機械手進行。樣品接收站配備了 LN?2低溫恒溫器，允許溫度在 -180°C 至 1000°C 范圍內變化（取決于樣品架型號）。mu-metal 室配有半球分析儀和 X 射線源、UV 源和低能電子源。靈活的設計允許輕松修改以滿足未來的科學需求
- 可變溫度 STM/AFM 室可通過直接連接到分配室的重定向室進入。特殊的樣品架設計帶有 STM 架，允許對每個室中的樣品進行加熱、冷卻和溫度測量
- 紅外光譜室 (FT-IR) 與商用紅外光譜儀，也可用作獨立儀器。測量過程中可對樣品進行加熱和冷卻，腔室可配備電子束蒸發器進行原位樣品制備
- 三級制備室，配備LEED、TDS、離子源、電子束蒸發器、Knudsen 池和眾多備用端口以備將來擴展
- 配備離子源和眾多備用端口的單級制備室。配備表面電導率測量設備
- 裝載鎖定室配備可拆卸手套箱，用于在減少氧氣和水氣氛下進行簡單的樣品裝載或樣品制備
