一種分析 UHV 系統，專門用于研究低溫和 UHV 條件下固態表面的化學和物理特性。

傳輸系統：

迷你 PTS 樣品架。

系統配置：

– 基礎壓力范圍為 5*10?^-11?mbar 的分析室包括：

• 具有 LHe 冷卻功能的閉環 5 軸高分辨率機械手（樣品溫度低至 13K）——全電動
• 高性能電子分析儀 XPS/UPS/ARPES
• 用于 XPS 測量的單色 X 射線源
• 帶有用于 UPS 測量的專用泵系統的單色 UV 源。
• 其他組件的額外自由端口

 

– 裝載鎖定室允許裝載多達 5 個 miniPTS 樣品架

– 兩級制備室配備：

• 具有 LN?₂冷卻和高達 1200°C EB 加熱的高精度 4 軸機械手
• 用于樣品清潔的離子濺射源
• 沉積速率測量系統：石英平衡和厚度監視器
• 電子束蒸發器
• LEED 用于 Leed/Auger 測量
• 未來其他組件的額外自由端口

– 存儲室，包括用于六個 miniPTS 樣品架的停放機制

– 用于轉移樣品的徑向分配室 (UFO) 在 UHV 壓力下在室之間轉移

– 配件：

• 一套專用、多功能、多材料樣品架
• 所有電子單元的特殊機架
• 特殊設計的烘烤系統
• 冷水機
• 工具包