描述

環境壓力 1 mbar – 10?^-10?mbar XPS (ESCA) / UPS 實驗的專用系統，分析室中的樣品溫度可控，從 100 K 到 850 K。完整的 PLC 保護和軟件控制，包括機器狀態的清晰可視化。所有集成設備、供應品和輔助設備的數據采集和控制。

• 環境壓力室 1 mbar – 10?^-10?mbar
• 配備HP分析儀
• 差分泵浦 X 射線單色器
• 差分泵浦雙陽極 X 射線源
• 差動泵浦紫外光源
• 主室和分析儀的四個泵級
• 分析室的整體鹵素烘烤
• 樣品架的激光和電阻加熱
• 樣品溫度范圍廣：100 K – 2200 K
• 樣品制備室
• 高壓反應器 – 高達 20 bar，650°C
• 具有加熱和熱穩定能力的氣體計量系統
• 初步加熱介紹
• 樣品存放室，最多可存放 5 個樣品架
• XPS (ESCA) / UPS 在環境壓力下的 TDS 樣品測量