UHV-HP AFM 平臺是一種獨特的原子力顯微鏡分析系統,可在寬壓力范圍內工作。它專注于高度靈活的樣品環境,專用于氣固界面的前沿研究。該系統配備了快速進入裝載鎖和準備室。
- AFM 室- 由不銹鋼制成,帶有不同尺寸的連接法蘭,用于當前和其他設備。工作壓力范圍從1 atm 到 UHV(在 150 oC 烘烤后),
- 用于 AFM 模塊的特殊滑軌,以方便對顯微鏡的維修,
- 裝載鎖定室允許裝載和存儲多達 4 個旗形樣品架和 4 個懸臂(尖端),
- 帶 4 軸機械手的兩級制備室(集成石英天平,可加熱至 1000 °C),
- 配備電子束蒸發器 EBV?40A1和離子源 IS 40C1 的制備室,用于樣品表面清潔,
- 特殊設計的泵送系統- 前真空和渦輪分子泵的隔振,
- 沉積速率測量系統TMC13和樣品加熱電源HEAT3-PS控制和穩定樣品溫度,
- 整個泵送和加氣系統由PLC控制器控制,
- 用戶友好的線性傳輸系統。