描述

專為 X 射線光電子能譜 (XPS) 設計的分析室，與用于薄膜
沉積的多室真空系統集成。

系統配置

• 帶有升華泵和可選 TMP 的 mu-metal 分析室
• 五軸機械手
• 探測器 XPS/UPS/ARPES
• 帶單色器的 X 射線源
• 紫外線源
• 電子源
• 離子源
• 映射
• 帶 TMP 泵送系統的分配室
• 負載鎖定室
• 儲藏室
• 烘烤系統
• 所有電子產品的機柜
• 軟件