PREVAC 的表面分析系統(tǒng)產(chǎn)品線基于高度靈活的分析工具，針對(duì) XPS (ESCA)、UPS、ARPES、ISS 和 AES 測(cè)量進(jìn)行了優(yōu)化。半球分析儀的能量分辨率 < 3 meV（2 eV 傳遞能量時(shí)的 FWHM）。除了光譜儀之外，還提供了多功能控制軟件，該軟件以開(kāi)放標(biāo)準(zhǔn)格式 (JSON) 存儲(chǔ)數(shù)據(jù)，并允許將數(shù)據(jù)導(dǎo)出為各種其他格式（hdf5、ini、txt），供不同的獨(dú)立 XPS 評(píng)估程序使用。

• 分析室– 由 μ 金屬制成，帶有用于電流和其他設(shè)備的連接法蘭。基礎(chǔ)壓力范圍 10?^-10?mbar（在 150 oC 烘烤后），
• EA15半球能量分析儀 – 配備總共 11 個(gè)狹縫，該分析儀提供了在最佳能量分辨率和最佳強(qiáng)度之間進(jìn)行選擇的可能性。平均半徑：150 毫米。動(dòng)能范圍：0.5-3000 eV，
• X 射線源RS 40B1?–高強(qiáng)度雙陽(yáng)極 X 射線源，
• 帶單色儀RMC50 的X 射線源，帶電子裝置（發(fā)射控制器、冷卻箱和用于操作 RMC50 和 RS40B1 X 射線源的高壓電源），
• UV源UVS 40A2，
  
• 離子源IS 40E1
  
• 洪水源FS 40A1
  
• RUDI-EA2?– 高穩(wěn)定低噪聲電子，
• SPECTRIUM?– 在處理和直觀圖形界面方面的漸進(jìn)式優(yōu)化軟件工具，
• 可靠，4-5-6 軸，全電動(dòng) UHV 機(jī)械手（帶加熱和冷卻），
• 用于分析室和分析部件的泵送系統(tǒng)，
• 分析室的氣體計(jì)量系統(tǒng)。