帶有 UHV 表面制備和分析模塊的 UHV 樣品制備設(shè)施的樣品傳輸系統(tǒng)。

傳輸系統(tǒng)

Flag Style 樣品架，“穿梭車(chē)”。

系統(tǒng)配置

– 徑向分布室，用于在 UHV 條件下在連接的室之間轉(zhuǎn)移樣品 – 半機(jī)動(dòng)

– 穿梭傳送模塊 – 允許傳送特殊類(lèi)型的樣品架 – 穿梭

– 制備室包括：

• 用于樣品清潔的離子濺射源
• 刀片切割器
• 刮刀
• 穿梭加熱臺(tái)
• 可存放 5 輛班車(chē)
• 旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)

– 快速進(jìn)入裝載鎖室 – 允許裝載兩個(gè)梭

– 垂直傳送通道 – 允許在兩個(gè)腔室之間傳送兩個(gè)穿梭機(jī)

– 特高壓表面處理和分析模塊，包括：

• 4臺(tái)特高壓?jiǎn)握舭l(fā)器
• 瑞德系統(tǒng)
• 閃光機(jī)
• 光學(xué)高溫計(jì)
• 冷卻階段
• 離子濺射源
• 氣體加藥系統(tǒng)
• LEED系統(tǒng)
• 柱鏡分析儀
• 4 軸機(jī)械手，電動(dòng)集成石英天平和用于楔形生長(zhǎng)的快門(mén)、LN2 冷卻和將樣品加熱至 1000°C 的可能性

– 配件：

• 樣品架組
• 烘烤系統(tǒng)
• 適用于所有電子單元的 19″ 機(jī)架式機(jī)柜
• 支撐架
• LED照明