波蘭PREVAC Electron source ES 40C1離子源
PREVAC Electron source ES 40C1離子源具有小光斑輪廓的可掃描電子源。由于其單透鏡的高透射率，PREVAC ES 40C在寬能量范圍內提供高電子束電流。PREVAC ES 40C1設計用于AES、掃描應用、成像、EELS和電子脈沖或解吸實驗（ESD）等領域的穩定可靠運行。
PREVAC Electron source ES 40C1可掃描離子源技術規格：
| Mounting flange | DN 40CF (rotatable) |
| Energy range | 0 – 5 keV |
| Sample current | up to?100 μA |
| Scan area | 10 mm x 10 mm |
| Shield | Cu or μ-metal |
| Cathode type | thoriated tungsten |
| Insertion length | min. 155.7 mm, (other on request) OD: 33.5 mm (μ-metal), 35 mm (Cu) |
| FWHM | dependent on working distance, min. 120 μm (for distance 56 mm) |
| Working distance | 23 mm – 150 mm (typical 75 mm) |
| Bakeout temperature | up to?250 °C |
| Working pressure | < 5×10-6?mbar |
PREVAC Electron source ES 40C1可掃描離子源特征：
精細聚焦微成形尖端陰極
具有小光斑輪廓的可掃描電子源
入射電子束角度校正（由ES40-PS電源提供）
集成掃描和偏轉單元
