低成本電子驅(qū)源，用于XPS/AES和SIMS應(yīng)用中絕緣體或半導(dǎo)體的電荷中和。大束流源在兩個能量范圍內(nèi)運(yùn)行，完全由軟件控制，還可以提供定制的插入長度（145 – 421 mm，其他根據(jù)要求）和屏蔽材料，例如 mu-金屬、銅。
數(shù)據(jù)規(guī)格：
| 安裝法蘭 | DN 40CF（不可旋轉(zhuǎn)） |
| 能量范圍 | 0.01 – 1000 eV |
| 采樣電流 | 高達(dá) 100 μA |
| 陰極類型 | 釷鎢 |
| 屏蔽 | 銅（用于μ金屬腔室）或μ金屬（用于不銹鋼腔室） |
| 插入長度 | 最小 145 毫米（可根據(jù)要求提供其他），外徑：33.6 毫米（μ金屬），35 毫米（銅） |
| FWHM | 取決于工作距離（例如 10 mm 對距離 30 mm） |
| 典型工作距離 | 20-100 毫米 |
| 烘烤溫度 | 最高 250°C |
| 工作壓力 | < 5 × 10-6毫巴 |
特征：
- 高電子束電流
- 可選能量范圍
- 穩(wěn)定排放
- 光束輪廓控制
選項(xiàng)：
- 線性移位
- 定制插入長度
- 源屏蔽材料（μ金屬或銅）
大束流離子源電源 FS40-PS
帶觸摸屏的新電源專用于大束流離子源 FS40A1。所有可調(diào)參數(shù)都顯示在帶觸摸屏的大型TFT顯示屏上。所有設(shè)置都可以手動調(diào)整，也可以在設(shè)備打開后自動存儲和調(diào)用。該裝置還具有內(nèi)置定時器和自動待機(jī)模式。FS40-PS 可作為全寬 19“ 機(jī)架安裝單元（3U 高）或獨(dú)立式提供。設(shè)備可以通過其中一個可用接口進(jìn)行遠(yuǎn)程控制。該裝置還可以使用模擬接口遠(yuǎn)程控制光束能量、發(fā)射電流、聚焦和提取器電壓。自動保存功能，用于保存參數(shù)/單位預(yù)設(shè)并在重新啟動后自動應(yīng)用它們。
技術(shù)規(guī)格：
| 電源電壓 | 100 V – 240 V，50/60 Hz （最大功耗 75 W） |
| 光束能量（低能量 范圍） | 0.01 – 50 eV，分辨率 0.01 eV |
| 光束能量（高能量 范圍） | 50 – 1000 eV，分辨率 0.1 eV |
| 發(fā)射電流 | 1 – 1000 μA，分辨率 0.1 μA |
| 聚焦電壓 | 300 – 1000 V，分辨率 0.1 V |
| 提取器電壓 | 0 – 150 V，分辨率 0.1 V |
| 模擬輸入 | 4 （0-10V） |
| 定時器 | 雙模定時器 0s – 99h 59m |
| 通信接口 | RS232/485，以太網(wǎng) |
| 通信協(xié)議 | MODBUS-TCP |
| 用戶界面 | 7“ TFT 顯示屏，帶觸摸屏，數(shù)字編碼器 |
| 界面語言 | 英語， 德語， 波蘭語 |
| 尺寸 | 483 x 133 x 435 mm（寬 x 高 x 深），19“ 機(jī)架安裝或單獨(dú)安裝 |
| 重量（大約） | 5.2 千克 |
應(yīng)用：
FS40-PS 電源設(shè)計(jì)用于 FS40A1 電子大束流離子源，后者用于 XPS/AES 和 SIMS 應(yīng)用中絕緣體和半導(dǎo)體樣品的電荷中和。
選項(xiàng)：
– 軟件控制（版本專業(yè)版、擴(kuò)展版或庫模塊）。
