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波蘭PREVAC Standard MS systems磁控濺射系統

波蘭PREVAC Standard MS systems磁控濺射系統

PREVAC Standard MS systems磁控濺射系統的獨立配置與我們的現場驗證標準解決方案,使沉積過程簡便、高效和可靠。?

PREVAC 根據您的需要,我們的標準MS系統提供

dard MS systems磁控濺射系統

PREVAC Standard MS systems磁控了在一個單獨的房間的幾個噴濺沉積技術的靈活性。每個系統都有一個通用的安裝法蘭,可以配置為磁控濺射沉積(帶有彈射或彈射配置)或任何其他薄膜沉積技術的組合。這就使預VAC標準MS系統成為一個多功能、強大和簡單的單位,以滿足表面科學涂料領域的大多數需求。?

PREVAC Standard MS systems磁控濺射系統特點：

  • 獨立的HV/UHV系統,包括高質量和高可用性解決方案的濺射過程
  • 最適合沉積金屬和介電薄膜
  • 工藝室標準尺寸:570毫米
  • 示例配置?主室的源端口:2個磁強的6xdn100cf端口,或10個dn63cf端口(同時有5個磁強管工作),或3個磁強的5xdn160iosK端口
  • 堿壓?從10開始?-7?M至超高頻
  • 二軸機械手?具有穩定、長壽命的加熱元件,由固體碳化硅和接收站組成,可達到高達1200℃的高溫。?
  • A 基板持有的范圍?尺寸(10×10毫米至6英寸,其他尺寸根據要求)和形狀
  • Sputter-up?和 Sputter-down可用
  • 操作的方式有?DC?, RF?和 Pulsed-DC?方式
  • Ar 氣體自動?通過質量流量控制?
  • 可能采用現場定性工具,例如:等離子發射監測器(PEM)、橢圓計、反射計、石英平衡器或高溫計溫度測量系統
  • 多個來源提供單一電源?交換網絡?,或有多種供應品?共同作證?加工
  • 前門入口?和/或用于快速和方便襯底裝載的負載鎖定室
  • 底部法蘭 有可能是?完全訪問?或用專用起重車更換
  • 19″帶有電子單元的櫥柜
  • ?Synthesium軟件全面控制沉積過程和設備?

PREVAC Standard MS systems磁控濺射系統應用：

應用程序例子
單層和多層導體薄膜(用于微電子和半導體器件)?Al, Mo, Mo/Au, Ta, Ta/Au?
半導體金屬化的屏障層?TiN, W-Ti?
磁學電影?Fe, Co, Ni, Fe-Al-Si, Co-Nb-Zr, Co-Cr, Fe-Ni-Cr, Fe-Si, Co-Ni-Cr, Co-Ni-Si??
光學涂料-金屬(反光)?Cr, Al, Ag?
光學涂料-介質?MgO, TiO2, ZrO2?
照相器?Cr, Mo, W?
透明氣體/蒸氣滲透屏障?Al2O3?
透明導體?InO2, SnO2,In-Sn-O (ITO)?

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