電子源 ES 40C1 用于 掃描應(yīng)用 AES 成像 EELS 和電子脈沖或解吸實(shí)驗(yàn) （ESD）

具有小光斑輪廓的可掃描電子源。由于其Einzel透鏡的高透射率，ES 40C在很寬的能量范圍內(nèi)提供高電子束電流。ES 40C1 專(zhuān)為在 AES、掃描應(yīng)用、成像、EELS 和電子脈沖或解吸實(shí)驗(yàn) （ESD） 等應(yīng)用中穩(wěn)定可靠地運(yùn)行而設(shè)計(jì)。

技術(shù)規(guī)格：

安裝法蘭DN 40CF（可旋轉(zhuǎn)）
能量范圍0 – 5 keV
采樣電流高達(dá) 100 μA
掃描區(qū)域10 毫米 x 10 毫米
屏蔽銅或μ金屬
陰極類(lèi)型釷鎢
插入長(zhǎng)度最小 155.7 毫米，（其他應(yīng)要求提供）外徑：33.5 毫米（μ金屬），35 毫米（銅）
FWHM取決于工作距離，最小 120 μm（距離 56 mm）
工作距離23 毫米 – 150 毫米（典型值為 75 毫米）
烘烤溫度最高 250 °C
工作壓力< 5×10-6毫巴

特征：

  • 細(xì)聚焦微成型尖端陰極
  • 具有小光斑輪廓的可掃描電子源
  • 入射電子束角校正（由ES40-PS電源提供）
  • 集成掃描和偏轉(zhuǎn)單元

選項(xiàng)：

  • 線(xiàn)性移位
  • 定制插入長(zhǎng)度
  • 源屏蔽材料（μ金屬或銅）

電子源電源 ES40-PS

允許微調(diào)電子束能量、密度、樣品上的位置以及電子束輪廓。掃描功能允許獨(dú)立控制掃描速度和范圍。所有設(shè)置都可以手動(dòng)調(diào)整，也可以在設(shè)備打開(kāi)后自動(dòng)存儲(chǔ)和調(diào)用。該裝置還具有內(nèi)置定時(shí)器和自動(dòng)待機(jī)模式。ES40-PS可以作為全寬19“機(jī)架安裝單元（3U高）或獨(dú)立式提供。通過(guò) USB 端口輕松更新固件。設(shè)備可通過(guò)RS232/485或以太網(wǎng)接口進(jìn)行遠(yuǎn)程控制。自動(dòng)保存功能，用于保存參數(shù)/單位預(yù)設(shè)并在重新啟動(dòng)后自動(dòng)應(yīng)用它們。

技術(shù)規(guī)格：

電源電壓100 – 120 伏交流電/200 – 240 伏交流電，50-60 赫茲（最大功耗 250 W）
光束能量0 – 5000 eV，分辨率 0.1 eV，紋波 < 200 mV
發(fā)射電流0.1 – 300 μA，分辨率 0.01 μA [ES 模式] 1 – 3000 nA，分辨率 1 nA [CMA 模式]
聚焦電壓60 – 100 % 與能量電壓相關(guān)，分辨率 0.1 %
韋內(nèi)爾特電壓0 – 150 V，分辨率 0.1 V [ES 模式] -12 – 12 V，分辨率 0.1 V [CMA 模式]
光束位置（像素，像素）分辨率 0.01 毫米，中間位置 ±5 毫米
掃描區(qū)域（Δx、Δy）10 毫米× 10 毫米，分辨率 0.01 毫米
掃描速度（時(shí)間/點(diǎn)）20 μs – 30 ms
定時(shí)器雙模定時(shí)器 0s – 99h 59m
真空測(cè)量（可選）CTR90， TTR91， TTR211， PTR225， PTR90， ITR90， ITR100， Baratron， 模擬輸入， MKS937A， PG105， MG13/14， PKR251/360/361， PCR280， ATMION
通信接口RS232/485，以太網(wǎng)
通信協(xié)議MODBUS-TCP
用戶(hù)界面7“ TFT 顯示屏，帶觸摸屏，數(shù)字編碼器
界面語(yǔ)言英語(yǔ)， 德語(yǔ)， 波蘭語(yǔ)
尺寸483 x 133 x 435 mm（寬 x 高 x 深），19“ 機(jī)架安裝式
重量（大約）9.2 千克

應(yīng)用：

ES40-PS電源旨在與ES40C1低能電子源或雙通迷你圓柱鏡分析儀CMA 40CF配合使用。電源允許微調(diào)電子束輪廓，以在高能量和發(fā)射電流下實(shí)現(xiàn)小光斑。

選項(xiàng)：

– 軟件控制（專(zhuān)業(yè)版、擴(kuò)展版或庫(kù)模塊），
– 用于真空測(cè)量的模擬 I/O 卡（1 個(gè)儀表）。


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