石英天平QO 40A1可在沉積過(guò)程中實(shí)時(shí)、漸進(jìn)地指示涂層厚度，從而在涂層生產(chǎn)中實(shí)現(xiàn)高精度和可重復(fù)。可以監(jiān)測(cè)蒸發(fā)膜和濺射鍍膜的厚度。傳感器頭是一個(gè)水冷式非磁性外殼，永久放置在真空系統(tǒng)中。晶面與水冷饋通管平行。石英天平 QO 40A1 安裝在帶有兩個(gè) ?40 管和 Microdot S-6 同軸連接器的 DN 50CF 法蘭上。定制插入長(zhǎng)度 130 – 500 mm（可根據(jù)要求提供其他）。
技術(shù)數(shù)據(jù)：
| 安裝法蘭 | DN 40CF（可旋轉(zhuǎn)） |
| 最高工作溫度 | 最高 300°C（帶水冷） |
| 水冷（必需） | 水流量 > 0.5 l/min 溫度： 20 – 30 °C 最大壓力： 6 巴 |
| 晶體頻率 | 4.8 – 6 MHz，直徑 14 mm（行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)） |
| 插入長(zhǎng)度 | 取決于腔室的規(guī)格和幾何形狀 |
| 烘烤溫度 | 最高 150 °C |
特征：
- 水碰撞傳感器頭
- 易于更換的石英
選項(xiàng)：
- 定制插入長(zhǎng)度
- 帶或不帶集成手動(dòng)/電動(dòng)氣動(dòng)快門(mén)不同的安裝法蘭（例如DN 40 KF）
- 可根據(jù)要求提供其他石英平衡幾何形狀（例如垂直頭部幾何形狀）
- 線性移位
