緊湊、易于使用的提取器類型，用于樣品表面清潔。源產生 >70 μA/cm 的離子電流2（氬氣）具有高斯光束輪廓。源插入長度可根據個性化要求進行調整（在 62.5 mm – 384.5 mm 之間，其他可根據要求提供）。
技術規格：
| 安裝法蘭 | DN 40CF（不可旋轉） |
| 能量范圍 | 0.12 keV – 5 keV |
| 電流密度 | > 120 μA/cm2（距離 30 mm 時） |
| 陰極類型 | 氧化釔涂層銥絲 |
| 插入長度 | 最小 62.5 mm，其他根據要求 外徑：最大 37 mm |
| FWHM | 取決于離子能量和工作距離 （例如，3 mm 對距離 30 mm） |
| 典型工作距離 | 30 – 250 毫米 |
| 烘烤溫度 | 最高 250°C |
| 工作壓力 | 10-5– 10-6毫巴 |
特征：
- 使用惰性（Ar）和反應氣體（O2， H2，壽命縮短的碳氫化合物）
- 高離子束電流
- 使用壽命長
- 高穩定性
選項：
- 氣體計量系統
- 定制插入長度
- 線性移位
離子源電源IS40-PS
高穩定性和低噪音電源，可配置為與IS40C1或IS40E1離子源配合使用。
離子源 IS 40E1 模式
IS40-PS 電源驅動 IS40E1 掃描離子源。它允許微調主光束能量、離子密度和光束輪廓（通過調整提取器、聚焦透鏡、偏轉和定位元件）。通過數字編碼器最多可改變 4 個參數。每個參數的當前狀態顯示在大型前面板LCD顯示屏上。所有設置都可以手動調整，也可以在設備打開后自動存儲和調用。該裝置還具有內置定時器和自動待機模式。通過 USB 端口輕松更新固件。設備可通過RS232/485或以太網接口進行遠程控制。自動保存功能，用于保存參數/單位預設并在重新啟動后自動應用它們。
提供維恩過濾器選項。
離子源 IS 40C1 模式
IS40-PS 電源驅動 IS40C1 離子源，用于大面積 UHV 樣品清潔和制備。IS40-PS 電源允許通過數字編碼器微調光束能量和離子密度。所有設置都可以手動調整，也可以在設備打開后自動存儲和調用。該裝置還具有內置定時器和自動待機模式。通過 USB 端口輕松更新固件。設備可通過RS232/485或以太網接口進行遠程控制。自動保存功能，用于保存參數/單位預設并在重新啟動后自動應用它們。
技術規格：
| 電源電壓 | 100V – 240V，50-60Hz （最大功耗250W） |
| 定時器 | 雙模式定時器，0 秒 – 99 小時 59 分鐘 |
| 真空測量（可選） | CTR90， TTR91， TTR211， PTR225， PTR90， ITR90， ITR100， Baratron， 模擬輸入， MKS937A， PG105， MG13/14， PKR251/360/361， PCR280， ATMION |
| 用戶界面 | 7“ TFT 顯示屏，帶觸摸屏，數字編碼器 |
| 通信接口 | RS232/485，以太網 |
| 通信協議 | MODBUS-TCP |
| 界面語言 | 英語， 德語， 波蘭語 |
| 尺寸 [毫米] | 483 x 133 x 437 mm（寬 x 高 x 深），19“ 機架安裝 |
規格（IS40E1 模式）
| 光束能量 （E） | 0 – 5 keV，分辨率 0.01 keV，紋波 < 0.2 VPP |
| 發射電流（Ie) | 0.01 mA – 10 mA，分辨率 0.01 mA |
| 焦點 （1，2） 電壓 | 0 – 5000 V，分辨率 1 V，紋波 < 0.2 VPP |
| 提取器電壓（Ex） | 60 – 100% 能量，分辨率 0.1%，紋波< 0.2 VPP |
| 光束位置（像素、像素） | -5 毫米至 5 毫米，分辨率 0.01 毫米 |
| 掃描區域（Δx、Δy） | 10 毫米 x 10 毫米，分辨率 0.01 毫米 |
| 掃描速度（時間/點） | 20 μs – 30 ms |
| 重量（大約） | 12 公斤 |
規格（IS40C1 模式）
| 光束能量（U英) | 0.00 keV – 5.00 keV，分辨率 0.01 keV，紋波< 200 mV |
| 發射電流（Ie) | 0.01 mA – 10 mA，分辨率 0.01 mA |
| 重量（大約） | 9.2 千克 |
選項：
– 軟件控制（專業版、擴展版或庫模塊）
– 用于真空測量的模擬量 I/O 卡（1 個儀表）
