離子源IS 40E1–兩個(gè)透鏡，提取器類型，聚焦。適用于深度剖面（Ar），能夠使用O2、H2、碳?xì)浠衔锖退卸栊詺怏w等反應(yīng)性氣體進(jìn)行操作。該源能夠以建議的工作距離柵格化 10 mm x 10 mm 的表面區(qū)域。它特別適用于XPS，ISS和SIMS中的深度剖析。該源也可用于樣品表面清潔。
技術(shù)規(guī)格：
| 安裝法蘭 | DN 40CF（可旋轉(zhuǎn)） |
| 氣體 | 氬氣和反應(yīng)氣體（O2， H2壽命縮短的碳?xì)浠衔铮?/span> |
| 能量范圍 | 0.15 keV – 5 keV |
| 掃描區(qū)域 | 10 毫米 x 10 毫米（工作距離為 23 毫米） |
| 電流密度 | 高達(dá) 4 mA/cm2（距離 23 毫米） |
| 光束電流 | > 1 μA（距離 23 mm 時(shí)） |
| 陰極類型 | 氧化釔涂層銥絲 |
| 錐角小 | 50 |
| 插入長(zhǎng)度 | 163 毫米（標(biāo)準(zhǔn)） |
| FWHM | 取決于工作距離（例如，距離 150 mm 時(shí)為 < 23 μm） |
| 典型工作距離 | 23 – 120 毫米 |
| 烘烤溫度 | 250 °C |
| 工作壓力 | 10-8毫巴（最大光束電流） |
特征：
- 特殊配置的鼻錐
- 使用惰性（Ar）和反應(yīng)氣體（O2， H2，壽命縮短的碳?xì)浠衔铮?/span>
- 連續(xù)可變光斑尺寸
- 極其均勻的火山口/光束輪廓
- 側(cè)面可更換燈絲
- 特高壓氣體入口
- 室內(nèi)保持特高壓條件
- 集成掃描和偏轉(zhuǎn)單元
- 入射電子束角度校正（由IS40-PS電源提供）
選項(xiàng)：
- 維恩質(zhì)量過(guò)濾器
- 氣體計(jì)量系統(tǒng)
- 直線移位： 25， 50， 75， 100 mm
- 泵組（2級(jí)）
- 真空計(jì)套件
高穩(wěn)定性和低噪音電源，可配置為與IS40C1或IS40E1離子源配合使用。
離子源 IS 40E1 模式
IS40-PS 電源驅(qū)動(dòng) IS40E1 掃描離子源。它允許微調(diào)主光束能量、離子密度和光束輪廓（通過(guò)調(diào)整提取器、聚焦透鏡、偏轉(zhuǎn)和定位元件）。通過(guò)數(shù)字編碼器最多可改變 4 個(gè)參數(shù)。每個(gè)參數(shù)的當(dāng)前狀態(tài)顯示在大型前面板LCD顯示屏上。所有設(shè)置都可以手動(dòng)調(diào)整，也可以在設(shè)備打開后自動(dòng)存儲(chǔ)和調(diào)用。該裝置還具有內(nèi)置定時(shí)器和自動(dòng)待機(jī)模式。通過(guò) USB 端口輕松更新固件。設(shè)備可通過(guò)RS232/485或以太網(wǎng)接口進(jìn)行遠(yuǎn)程控制。自動(dòng)保存功能，用于保存參數(shù)/單位預(yù)設(shè)并在重新啟動(dòng)后自動(dòng)應(yīng)用它們。
提供維恩過(guò)濾器選項(xiàng)。
離子源 IS 40C1 模式
IS40-PS 電源驅(qū)動(dòng) IS40C1 離子源，用于大面積 UHV 樣品清潔和制備。IS40-PS 電源允許通過(guò)數(shù)字編碼器微調(diào)光束能量和離子密度。所有設(shè)置都可以手動(dòng)調(diào)整，也可以在設(shè)備打開后自動(dòng)存儲(chǔ)和調(diào)用。該裝置還具有內(nèi)置定時(shí)器和自動(dòng)待機(jī)模式。通過(guò) USB 端口輕松更新固件。設(shè)備可通過(guò)RS232/485或以太網(wǎng)接口進(jìn)行遠(yuǎn)程控制。自動(dòng)保存功能，用于保存參數(shù)/單位預(yù)設(shè)并在重新啟動(dòng)后自動(dòng)應(yīng)用它們。
技術(shù)規(guī)格：
| 電源電壓 | 100V – 240V，50-60Hz （最大功耗250W） |
| 定時(shí)器 | 雙模式定時(shí)器，0 秒 – 99 小時(shí) 59 分鐘 |
| 真空測(cè)量（可選） | CTR90， TTR91， TTR211， PTR225， PTR90， ITR90， ITR100， Baratron， 模擬輸入， MKS937A， PG105， MG13/14， PKR251/360/361， PCR280， ATMION |
| 用戶界面 | 7“ TFT 顯示屏，帶觸摸屏，數(shù)字編碼器 |
| 通信接口 | RS232/485，以太網(wǎng) |
| 通信協(xié)議 | MODBUS-TCP |
| 界面語(yǔ)言 | 英語(yǔ)， 德語(yǔ)， 波蘭語(yǔ) |
| 尺寸 [毫米] | 483 x 133 x 437 mm（寬 x 高 x 深），19“ 機(jī)架安裝 |
規(guī)格（IS40E1 模式）
| 光束能量 （E） | 0 – 5 keV，分辨率 0.01 keV，紋波 < 0.2 VPP |
| 發(fā)射電流（Ie) | 0.01 mA – 10 mA，分辨率 0.01 mA |
| 焦點(diǎn) （1，2） 電壓 | 0 – 5000 V，分辨率 1 V，紋波 < 0.2 VPP |
| 提取器電壓（Ex） | 60 – 100% 能量，分辨率 0.1%，紋波< 0.2 VPP |
| 光束位置（像素、像素） | -5 毫米至 5 毫米，分辨率 0.01 毫米 |
| 掃描區(qū)域（Δx、Δy） | 10 毫米 x 10 毫米，分辨率 0.01 毫米 |
| 掃描速度（時(shí)間/點(diǎn)） | 20 μs – 30 ms |
| 重量（大約） | 12 公斤 |
規(guī)格（IS40C1 模式）
| 光束能量（U英) | 0.00 keV – 5.00 keV，分辨率 0.01 keV，紋波< 200 mV |
| 發(fā)射電流（Ie) | 0.01 mA – 10 mA，分辨率 0.01 mA |
| 重量（大約） | 9.2 千克 |
選項(xiàng)：
– 軟件控制（專業(yè)版、擴(kuò)展版或庫(kù)模塊）
– 用于真空測(cè)量的模擬量 I/O 卡（1 個(gè)儀表）
