厚度監測器 TM13 & TM14
TM13 和 TM14 設備包括:石英振蕩器、頻率測量系統和通信接口。
描述
它連接到石英諧振器的輸入元件。測量結果通過 RS232 傳輸到主設備:PC 或 TMC13 控制器。通過 TMC13 控制器或 PC 進行遠程控制。專用于精確速率測量的可用軟件。記錄石英諧振器頻率隨時間的變化(以圖形的形式)。允許用戶從選定的時間間隔計算蒸發速率。適用于 MBE 等應用。
特征
TM13
- 頻率分辨率:0.1 Hz
- 每秒測量次數:4(固定)
- 石英振蕩器的最大頻率:6 MHz
- 穩定性:0.5 ppm
TM14
- 頻率分辨率:0.01 Hz
- 每秒測量次數:0.5、1、2、4、10(可選)
- 石英振蕩器的最大頻率:6 MHz
- 穩定性:0.5 ppm
技術數據
| 電源 | 5V 直流 | |
| 電流消耗 | 最大 500 mA | |
| TM13 | TM14 | |
| 厚度分辨率 | 0.1 ? | 0,01 ? |
| 速率分辨率 | 0.1 ?/秒 | 0.01 ?/秒 |
| 頻率分辨率 | 0.1 赫茲 | 0.01 赫茲 |
| 頻率穩定性 | 0.5 頁/分鐘 | 0.5 頁/分鐘 |
| 每秒測量次數 | 4 | 0.5;1;2;4;10 (可選) |
| 通信接口 | RS232 接口 | |
| 尺寸 [mm] | 80.0 x 50.0 x 27.0 毫米(寬 x 高 x 深) | |
| 重量(大約) | 0.1 千克 | |
選項
- 通信接口 RS485(訂貨時指定)

