PREVAC的表面分析系統產品線基于高度靈活的分析工具，該工具針對XPS（ESCA），UPS，ARPES，ISS和AES測量進行了優化。半球分析儀的能量分辨率小于3 meV（通過能量為2 eV時的FWHM）。除了光譜儀外，還提供了通用控制軟件，該軟件以開放標準格式（JSON）存儲數據，并允許將數據導出為其他各種格式（hdf5，ini，txt），供不同的獨立XPS評估程序使用。
- 分析室-由μ金屬制成，帶有用于電流和其他設備的連接法蘭。基本壓力范圍10?-10?mbar（在150oC烘烤后），
- EA15半球形能量分析儀-配備了11個狹縫，可以在最佳能量分辨率和最佳強度之間進行選擇。平均半徑：150毫米。動能范圍：0.5-3000 eV，
- X射線源RS 40B1?–高強度雙陽極型X射線源，
- 帶有帶有電子裝置的單色儀RMC50的X射線源（發射控制器，冷卻箱和用于操作RMC50和RS40B1 X射線源的HV電源），
- 紫外線源UVS 40A2，
- 離子源IS 40E1
- 洪水源FS 40A1
- RUDI-EA2-高穩定度和低噪音的電子產品，
- SPECTRIUM-在處理和直觀的圖形界面方面的先進且經過優化的軟件工具，
- 可靠的4-5-6軸全電動UHV機械手（帶有加熱和冷卻），
- 用于分析室和分析部件的泵送系統，
- 分析室的氣體定量給料系統。
