PREVAC UHV-HP AFM System UHV-HP原子力顯微鏡分析系統
UHV-HP AFM平臺是用于在寬壓力范圍內工作的原子力顯微鏡的獨特分析系統。它專注于高度靈活的樣品環境，專用于氣固界面的前沿研究。該系統配備了快速進入的負載鎖定和準備室。
- AFM腔室-由不銹鋼制成，帶有用于當前和其他設備的不同尺寸的連接法蘭。工作壓力范圍為1 atm至UHV（在150oC烘烤后），
- 用于AFM模塊的特殊滑軌，以方便檢修顯微鏡，
- 加載鎖定室允許加載和存儲多達4個標志式樣品架和4個懸臂（針尖），
- 帶四軸機械手的兩級準備室（集成石英天平，加熱可能性高達1000°C），
- 配備電子束蒸發器EBV?40A1和離子源IS 40C1的制備室，用于樣品表面清潔，
- 特殊設計的抽氣系統–真空泵和渦輪分子泵的隔振，
- 沉積速率測量系統TMC13和樣品加熱電源HEAT3-PS，用于控制和穩定樣品的溫度，
- 整個抽氣和加氣系統均由PLC控制器控制，
- 用戶友好的線性傳輸系統。
