PREVAC TPD/TDS system 超薄膜吸附/解吸測量系統
于測量超薄膜吸附/解吸的獨立系統，能夠在寬溫度范圍內進行高精度溫度控制。
- 一級TPD / TDS腔室，基本壓力為1×10?-9?mbar（備用端口可用于其他組件）
- 配備四極TDS 40A1熱解吸光譜儀（質量范圍高達200 AMU），Z軸偏移，可實現最佳檢測器定位
- 特殊設計的錐形采樣端頭
- 具有寬溫度范圍（-170°C至1200°C）的高精度溫度控制的1軸UHV機械手
- TDS的計算機控制數據采集和處理軟件
- 負載鎖定室，用于兩個PTS樣品架
- 從負載鎖定到TPD腔室的可靠，快速的線性傳輸系統
- 適用于所有電子設備的19英寸機柜
- 可調式剛性主框架，帶大輪子，易于放置系統
提供許多升級選項，例如：
- 機械手的附加運動軸和完全電動化
- 通過精確的PLC控制壓力，可以將壓力范圍從特高壓擴展到1個大氣壓
- 氣體加料系統（手動或精確，由PLC控制）
- 溶劑加藥系統
- 專門用于腐蝕性環境的樣品架
- 負載鎖定的加熱和LN?2冷卻選項
- 專門用于樣品制備的腔室
- 適用于不同質量范圍的殘留氣體分析儀
應用范圍：
- 表面科學
- 納米粒子
- 薄膜
- 半導體類
- 光伏發電
- 材料表征
