PREVAC 的表面分析系統(tǒng)產(chǎn)品線基于高度靈活的分析工具，針對 XPS (ESCA)、UPS、ARPES、ISS 和 AES 測量進行了優(yōu)化。半球分析儀的能量分辨率 < 3 meV（2 eV 傳遞能量時的 FWHM）。除了光譜儀之外，還提供了多功能控制軟件，該軟件以開放標準格式 (JSON) 存儲數(shù)據(jù)，并允許將數(shù)據(jù)導出為各種其他格式（hdf5、ini、txt），供不同的獨立 XPS 評估程序使用。
- 分析室– 由 μ 金屬制成，帶有用于電流和其他設(shè)備的連接法蘭。基礎(chǔ)壓力范圍 10?-10?mbar（在 150 oC 烘烤后），
- EA15半球能量分析儀 – 配備總共 11 個狹縫，該分析儀提供了在最佳能量分辨率和最佳強度之間進行選擇的可能性。平均半徑：150 毫米。動能范圍：0.5-3000 eV，
- X 射線源RS 40B1?–高強度雙陽極 X 射線源，
- 帶單色儀RMC50 的X 射線源，帶電子裝置（發(fā)射控制器、冷卻箱和用于操作 RMC50 和 RS40B1 X 射線源的高壓電源），
- UV源UVS 40A2，
- 離子源IS 40E1
- 洪水源FS 40A1
- RUDI-EA2?– 高穩(wěn)定低噪聲電子，
- SPECTRIUM?– 在處理和直觀圖形界面方面的漸進式優(yōu)化軟件工具，
- 可靠，4-5-6 軸，全電動 UHV 機械手（帶加熱和冷卻），
- 用于分析室和分析部件的泵送系統(tǒng)，
- 分析室的氣體計量系統(tǒng)。
