波蘭PREVAC分析系統(tǒng) TPD/TDS系統(tǒng)

用于測(cè)量超薄膜吸附/解吸的獨(dú)立系統(tǒng)，能夠在很寬的溫度范圍內(nèi)進(jìn)行高精度溫度控制。

  • 一級(jí)TPD/TDS 室，基本壓力為 1×10?-9?mbar（備用端口可用于其他組件）
  • 配備四極桿TDS 40A1 熱解吸光譜儀（質(zhì)量范圍高達(dá) 200 AMU）在 Z 軸上實(shí)現(xiàn)最佳檢測(cè)器定位
  • 特殊設(shè)計(jì)的錐形取樣端件
  • 1 軸 UHV 機(jī)械手，在寬溫度范圍（-170 °C 至 1200 °C）內(nèi)具有高精度溫度控制
  • TDS計(jì)算機(jī)控制的數(shù)據(jù)采集和處理軟件
  • 兩個(gè) PTS 樣品架的負(fù)載鎖定室
  • 從負(fù)載鎖到 TPD 室的可靠且快速的線性傳輸系統(tǒng)
  • 19“機(jī)柜，適用于所有電子單元
  • 帶大輪子的可調(diào)節(jié)剛性主框架，便于系統(tǒng)放置

許多可用的升級(jí)選項(xiàng)，例如：

  • 機(jī)械手的附加運(yùn)動(dòng)軸和完全電動(dòng)化
  • 通過(guò)對(duì)壓力進(jìn)行精確的 PLC 控制，可以將壓力范圍從 UHV 擴(kuò)展到 1 個(gè)大氣壓
  • 氣體計(jì)量系統(tǒng)（手動(dòng)或精確的 PLC 控制）
  • 溶劑加藥系統(tǒng)
  • 專(zhuān)用于腐蝕性環(huán)境的樣品架
  • 負(fù)載鎖的加熱和 LN?2冷卻選項(xiàng)
  • 用于樣品制備的專(zhuān)用室
  • 用于不同質(zhì)量范圍的殘余氣體分析儀

應(yīng)用：

  • 表面科學(xué)
  • 納米粒子
  • 薄膜
  • 半導(dǎo)體
  • 光伏
  • 材料表征

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