專用于正電子湮沒和表面分析的分析 UHV 系統(tǒng)。
PTS 樣品架。
系統(tǒng)配置：
– 基礎壓力范圍為 10?-10?mbar 的分析室包括：
- 5軸全電動機械手
- 電子能量分析儀 XPS/UPS/ARPES
- 用于 XPS 測量的單色 X 射線源
- 帶有用于 UPS 測量的專用泵系統(tǒng)的單色 UV 源。
- 用于深度分析的離子源
- 其他組件的額外自由端口
– 帶設備的離子輻照室
– 加載鎖定室允許加載 PTS 樣品架
– 用于在 UHV 壓力下在腔室之間傳輸樣品的線性傳輸
– 配件：
- 一套專用、多功能、多材料樣品架
- 所有電子單元的特殊機架
- 特殊設計的烘烤系統(tǒng)
- 工具包
