描述
專用于薄層制備和表面固體樣品(晶體和電子結構)的復雜分析的多室 UHV 系統,采用掃描探針顯微鏡(SPM、SPS)等研究方法。MBE 室配備 7 個源,RHEED 和離子源。分析室配備了 XPS 分析儀,可使用 X 射線、離子和電子源。
規格
該系統專用于:
? 通過外延生長生成納米結構、薄層、磁性層狀結構和異質結構(鐵磁/半導體)
? 使用磁性、XPS 和SPM 方法對制造的異質結構特性進行高級研究。通過 STM、AFM 和磁力顯微鏡 (MFM) 表征磁性薄層和磁性固體材料
? 測量薄層和磁性異質結構的表面電子態密度
? 通過 X 射線光電子能譜 (XPS) 分析表面電子狀態