描述

用于研究新型催化劑材料的物理和化學性質的定制多室 UHV 系統。

規格

多室（分析和制備）系統在真正的 UHV 條件下（壓力低于 10?^-10毫巴）在室之間進行線性樣品傳輸。分析室中的基礎壓力 < 5*10?^-11?mbar。催化反應可以在高達 2000 毫巴（包括 2000 毫巴）的壓力下進行，快速抽空并轉移到分析室。

• 集成不同表面分析方法的球形多技術分析室：單色X射線光電子能譜（MXPS）、單色紫外光電子能譜（UPS）和光電子發射顯微鏡（PEEM）。樣品定位是通過一個非常穩定、高精度的 5 軸機械手進行的，機械手有兩個電動旋轉軸，用于自動角度映射。樣品接收站配備了 LN?₂低溫恒溫器，允許溫度在 -180°C 至 1000°C 范圍內變化（取決于樣品架型號）。該腔室由 mu-metal 制成，并配備了一個帶 2D 探測器的半球分析儀、一個單色 X 射線源、UV 源、單色器和一個 40 nm 分辨率的 PEEM
• 結合磁懸浮渦輪分子泵、離子泵和鈦升華泵的特高壓真空系統。表面分析室和制備室可以獨立烘烤。半球分析儀安裝在水平位置
• 安裝在分析室上方的球形制備室配有離子源、質譜儀、電子束蒸發器、氣體加料器和幾個用于未來擴展的端口
• 用于樣品加熱（高達 650°C）和在壓力高達 2000 mbar 的受控氣體環境中冷卻的高壓反應器
• 用于 6 個樣品架的樣品停放室
• 負載鎖室