波蘭PREVAC同步加速器分析系統 鏡面/光柵系統 2021年11月5日 劉禮鵬 139-1685-4983 (微信同號)真空鏡室位于同步加速器光束線。反射鏡位于腔室內并安裝在隔振特殊支架上,該支架使用多軸機械手移動,以確定光束的正確方向。鏡室配備抽氣和真空測量系統,帶光學元件的鏡架可額外配備冷卻裝置。 UHV特高壓多室分析系統 UHV表面科學分析系統 光電子能譜儀 無油真空泵 真空室 真空油泵 真空泵 真空泵系統 真空測控裝置 真空腔 離子源 高真空泵