描述
該多功能系統專為對材料表面進行精確多樣的分析而設計。
規格
系統由固定真空室的主機架組成；分析室、制備室、負載鎖定室和線性轉移。所有框架都是獨立的，并配有帶螺釘鎖定裝置的腳輪，用于地板定位。框架可以根據需要斷開連接并移動到實驗室內的其他位置。每個框架還配備了自己的烘烤帳篷。該系統非常通用，未來可以進一步擴展以添加例如切割室、存儲室和/或 PLD 室。
該系統有一個獨立的獨立式控制器柜，用于真空和儀表設備。
UHV 系統包括各種互鎖渦輪分子泵組、離子泵和鈦升華泵。泵送系統、儀表和閥門（安全和通風）完全由微處理器和軟件控制，并帶有完整的安全聯鎖裝置。
各個腔室都通過光纖出口進行內部照明，以監視腔室之間的樣品轉移/支架機制。
該系統配備有蒸餾水冷卻器。
提供各種樣品架以提供廣泛的加熱和冷卻能力。
