描述

用于制備、表征和研究薄膜和納米結構樣品中的生長、擴散、晶格動力學和磁性的超高真空系統。

規格

核共振散射 (NRS) 實驗在 NRS 室中進行，安裝在 2 圓衍射儀上，允許在 100 K 至 2000 K 的溫度范圍內進行掠入射散射幾何實驗。兩個直徑 Be 窗口用于核前向散射 (NFS) 實驗。第三個 Be 窗口允許檢測核非彈性散射 (NIS) 輻射。

可以使用兩個分子束蒸發器在制備室中沉積超薄膜和多層結構樣品。應用低能電子衍射和俄歇電子光譜的標準表面分析技術以控制制備的樣品的結構和組成。

精密的機械手允許在 100 K 到 2200 K 的范圍內冷卻/加熱樣品。

分配室配有樣品轉移機構，用于不同室之間的樣品交換。最多可存儲 6 個特殊樣品架的存儲室直接連接到分配室。樣品架可以通過負載鎖引入 UHV 環境。負載鎖的端口允許連接 UHV 運輸箱，以在 UHV 條件下運輸制備和表征的樣品。