PREVAC 離子源 IS 40C1 用于樣品表面清潔

離子源 IS 40C1 是一款緊湊、易于使用的提取器型離子槍，用于樣品表面清潔。
該源產(chǎn)生>70 μA/cm 2 (氬)的離子電流，具有高斯光束輪廓。源插入長(zhǎng)度可根據(jù)個(gè)人要求進(jìn)行調(diào)整（62.5 毫米 – 384.5 毫米，其他應(yīng)要求提供）。

特征

  • 使用惰性 (Ar) 和反應(yīng)性氣體（O 2、H 2、壽命縮短的碳?xì)浠衔铮┎僮?/li>
  • 高離子束電流
  • 使用壽命長(zhǎng)
  • 高穩(wěn)定性

選項(xiàng)

  • 氣體加藥系統(tǒng)
  • 定制插入長(zhǎng)度
  • 線性移位

技術(shù)規(guī)格

安裝法蘭DN 40CF（不可旋轉(zhuǎn)）
能量范圍0.12 keV – 5 keV?
當(dāng)前密度> 120 μA/cm2（距離 30 mm）
陰極類型氧化釔涂層銥絲
插入長(zhǎng)度分鐘?62.5 毫米，其他應(yīng)要求提供
OD：最大。37 毫米
半高寬取決于離子能量和工作距離
（例如，距離 30 mm 為 3 mm）
典型工作距離30 – 250 毫米
烘烤溫度高達(dá) 250°C
工作壓力10?-5?– 10?-6毫巴


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