PREVAC 離子源 Ion Source IS 40C1
Ion Source IS 40C1 是一款緊湊、易于使用的提取器型離子槍，用于樣品表面清潔。
該源產生>70 μA/cm?2?(氬)的離子電流，具有高斯光束輪廓。源插入長度可根據個人要求進行調整（62.5 毫米 – 384.5 毫米，其他應要求提供）。
特征
- 使用惰性 (Ar) 和反應性氣體（O?2、H?2、壽命縮短的碳氫化合物）操作
- 高離子束電流
- 使用壽命長
- 高穩定性
選項
- 氣體加樣系統
- 定制插入長度
- 線性移位
技術數據
| 安裝法蘭 | DN 40CF（不可旋轉） |
| 能量范圍 | 0.12 keV – 5 keV? |
| 當前密度 | > 120 μA/cm2（距離 30 mm） |
| 陰極類型 | 氧化釔涂層銥絲 |
| 插入長度 | 分鐘?62.5 毫米，其他應要求提供 OD：最大。37 毫米 |
| 半高寬 | 取決于離子能量和工作距離 （例如，距離 30 mm 為 3 mm） |
| 典型工作距離 | 30 – 250 毫米 |
| 烘烤溫度 | 高達 250°C |
| 工作壓力 | 10?-5?– 10?-6毫巴 |
