PREVAC 4-5軸萬能機械手 4-5 axes Universal Manipulators
X、Y、Z、R1、R2軸電動4-5*軸機械手是一種高精度、高剛性、模塊化結構的UHV試樣機械手。
模塊化結構意味著可以通過添加或替換明確定義的模塊來升級或修改規范。機械手的所有軸均由步進電機或伺服電機驅動。X、Y 和 Z 軸也可以根據需要手動操作。標準安裝法蘭為 DN 100CF 或 DN 160CF。4-5軸機械手是XY平臺、Z滑動和旋轉平臺的組合。
選項
▪ 全電動
▪ 全軟件控制
▪ 溫度穩定
▪ 加熱選項??：直接、電阻或 EB
▪ 適用于反應氣體的加熱器（電阻加熱）
附加信息
多軸機械手配置有一個樣品接收站，可以接收 PTS 系列樣品架之一。該工作站配備 6 個電觸點（2 個 K、C 或 E 型熱電偶；2 個高達 1000V 的樣品偏置，2 個高達 20A 的加熱電流）和用于液氮冷卻的藍寶石球冷卻觸點。機械手包括所有必要的電氣、氣體和機械饋通以及用于 XY、Z、R1 和 R2 軸的步進電機和步進電機驅動器。
* 可應要求為 PTS 樣品架配備 6 軸機械手。
技術數據
| 標準底座法蘭 | DN 100CF 或 DN 160CF |
| 壓力范圍 | 低至 10?-11毫巴 |
| 加熱方式 | 電阻，EB，直接 |
| 冷卻方式 | LN?2 |
| XY范圍 | ± 12.5 毫米 |
| ?? 位置控制 | 千分尺/機動* |
| ?? 分辨率（手動/機動） | 5微米/1微米 |
| Z范圍 | 75 – 800 毫米（其他應要求提供） |
| ?? 位置控制 | 手輪/電動* |
| ?? 分辨率（手動/機動） | 500 μm / 標準 10 μm （1 μm 根據要求）? |
| R1范圍 | ± 175° |
| ?? 位置控制 | 旋轉饋通/機動* |
| ?? 分辨率（機動） | 0.1° |
| R2范圍 | 360°連續/±90° |
| ?? 位置控制 | 機動的 |
| ?? 分辨率（機動） | 0.1° |
| 烘烤溫度 | 高達 150 °C |
* 步進電機或伺服電機 – 取決于應用。
可根據要求為客戶電機或驅動器準備機械手。
