PREVAC 多室特高壓系統(tǒng) [項目 449] Multichamber UHV system [project 449]

傳輸系統(tǒng)

PTS 樣品架。

系統(tǒng)配置：

– 分析室：

• 具有 LN2 冷卻和可加熱至 1200°C 的高精度 4 軸機械手
• 電子能量分析儀 XPS/UPS/ISS 光譜顯微鏡
• 用于 XPS 測量的單色化 X 射線源
• 洪水源
• 帶有專用泵送系統(tǒng)的離子源，用于使用 Wien 質(zhì)量過濾器進行深度分析

– 兩級制備室：

• 具有 LN2 冷卻和可加熱至 2000°C 的高精度 4 軸機械手
• LEED/螺旋鉆
• 電子束蒸發(fā)器（伸縮）
• 沉積速率測量系統(tǒng)：石英平衡和厚度監(jiān)視器

– 負載鎖定室

– 徑向分布室，用于在特高壓條件下在附屬室之間轉(zhuǎn)移樣品

– 存儲室，包括用于 10 個樣品架/面罩的停放機制

– 配件：

• 一組樣品架
• 烘烤系統(tǒng)
• 適用于所有電子單元的 19″ 機架式機柜
• 支撐架
• LED照明