PREVAC 特高壓分析系統 [項目 428] UHV analytical system [project 428]

專用于正電子湮沒和表面分析的分析 UHV 系統。

傳輸系統：

PTS 樣品架。

系統配置：

– 基礎壓力范圍為 10?^-10?mbar 的分析室包括：

• 5軸全電動機械手
• 電子能量分析儀 XPS/UPS/ARPES
• 用于 XPS 測量的單色 X 射線源
• 具有用于 UPS 測量的專用泵系統的單色 UV 源。
• 用于深度分析的離子源
• 其他組件的額外自由端口

– 帶設備的離子輻照室

– 加載鎖定室允許加載 PTS 樣品架

– 用于在 UHV 壓力下在腔室之間傳輸樣品的線性傳輸

– 配件：

• 一套專用、多功能、多材料樣品架
• 所有電子單元的特殊機架
• 特殊設計的烘烤系統
• 工具包