PREVAC ARPES 特高壓系統 ARPES UHV system [project 418]

傳輸系統：

Flag Style 樣品架

系統配置：

– 帶有雙層 mu 金屬襯里的分析室，保證剩余磁場低于 0.1 微特斯拉，基本壓力范圍為 5*10?^-11毫巴，包括：

• 具有 LHe 冷卻功能的閉合循環高分辨率操縱器（樣品溫度低至 15K）——全電動
• 針對極其苛刻的應用進行了優化，高精度 ARPES 電子分析儀
• 具有專用泵送系統的用于 UPS 測量的單色 UV 源

– 裝載鎖定室允許裝載多達 12 個 Flag 樣式的樣品架

– 制備室安裝在分析室的頂部，允許對兩個室使用一個機械手，包括：

• 用于樣品清潔的離子濺射源
• 沉積速率測量系統：石英平衡和厚度監視器
• 金蒸發器（Efusion cell）
• LEED 帶多通道板，用于 Leed/Auger 測量

– 存儲室，包括用于 12 旗式樣品架的停放機制

– 用于轉移樣品的徑向分配室 (UFO) 在 UHV 壓力下在室之間轉移

– 配件：

• 一套專用、多功能、多材料樣品架
• 所有電子單元的特殊機架
• 特殊設計的烘烤系統