PREVAC TPD/TDS系統 TPD/TDS system
用于測量超薄膜吸附/解吸的獨立系統，能夠在很寬的溫度范圍內進行高精度溫度控制。
- 一級TPD/TDS 室，基礎壓力為 1×10?-9?mbar（備用端口可用于其他組件）
- 配備四極桿TDS 40A1 熱解吸光譜儀（質量范圍高達 200 AMU），Z 軸位移可實現最佳檢測器定位
- 特殊設計的錐形取樣端件
- 1 軸 UHV 機械手，在較寬的溫度范圍內（-170 °C 至 1200 °C）具有高精度溫度控制
- TDS計算機控制的數據采集和處理軟件
- 兩個 PTS 樣品架的負載鎖定室
- 從負載鎖到 TPD 室的可靠且快速的線性傳輸系統
- 19“機柜，適用于所有電子單元
- 帶大輪子的可調節剛性主框架，便于系統放置
許多可用的升級選項，例如：
- 機械手的附加運動軸和完全電動化
- 通過對壓力進行精確的 PLC 控制，可以將壓力范圍從 UHV 擴展到 1 個大氣壓
- 氣體計量系統（手動或精確的 PLC 控制）
- 溶劑加藥系統
- 專用于腐蝕性環境的樣品架
- 裝載鎖的加熱和 LN?2冷卻選項
- 用于樣品制備的專用室
- 用于不同質量范圍的殘余氣體分析儀
應用：
- 表面科學
- 納米粒子
- 薄膜
- 半導體
- 光伏
- 材料表征
