PREVAC 4-6 軸氦氣機械手（開放式循環） 4-6 axes Helium Manipulators (Open Cycle)

該機械手是一種高精度、高剛性、模塊化結構的UHV試樣機械手，適用于X、Y和Z的一系列直線運動和R1、R2和R3旋轉。

模塊化結構意味著可以通過添加替換明確定義的模塊來升級或修改規范。

選項

▪ 全電動
▪ 全軟件控制
▪ 氦氣回收系統
▪ 可以安裝角度裝置進行 PES 校準
▪ 溫度穩定
▪ 加熱選項??：直接、電阻或 EB

加熱和冷卻方法

樣品溫度取決于樣品架類型：
▪ 用10 A直接加熱
▪ 電阻加熱高達 1100 °C
▪ EB 加熱高達 1400 °C
▪ 液氦冷卻：
– 4 軸機械手 –低至 4 K?*
– 5 軸機械手 –低至 4.8 K?* /?10 K?**
– 6 軸機械手 –低至 7 K?* /?15 K?**
* 無需加熱選項和溫度即可實現參數。穩定。
** 通過加熱選項獲得的參數。

技術數據

* 步進電機或伺服電機 – 取決于應用。
可根據要求為客戶電機或驅動器準備機械手。