用于在 XPS/AES 和 SIMS 應用中對絕緣體或半導體進行電荷中和的低成本電子流槍。
泛光源在兩個能量范圍內運行,完全由軟件控制,還可以提供定制的插入長度(145 – 421 毫米,其他應要求提供)和屏蔽材料,例如 mu 金屬、銅。
特征
- 高電子束電流
- 可選擇的能量范圍
- 穩定排放
- 光束輪廓控制
選項
- 線性移位
- 定制插入長度
- 源屏蔽材料(μ-金屬或銅)
產品規格
安裝法蘭 | DN 40CF(不可旋轉) |
能量范圍 | 0.01 – 500 eV |
采樣電流 | 高達 100 μA |
陰極類型 | 釷鎢 |
盾 | Cu或μ金屬 |
插入長度 | 分鐘?145 毫米(其他應要求提供),外徑:33.6 毫米(微米金屬),35 毫米(銅) |
半高寬 | 取決于工作距離(例如,距離 30 mm 為 10 mm) |
典型工作距離 | 20-100 毫米 |
烘烤溫度 | 高達 250°C |
工作壓力 | < 5 × 10?-6毫巴 |