MS2 63C1 磁控管源用于在濺射過程中應(yīng)用高度均勻的薄層。
源與特高壓條件兼容。由于集成了原位傾斜系統(tǒng),它可以用于標(biāo)準(zhǔn)和定制幾何室。通過使用圓頂型設(shè)計,我們最大限度地減少了打開百葉窗所需的空間。MS2 63C1 與我們的 M600DC-PS 電源以及市場上所有其他直流、射頻和脈沖直流電源完全兼容。
特征
- 安裝法蘭:DN 63 CF
- 原位傾斜范圍:+45°÷-10°
- 煙囪為標(biāo)準(zhǔn)
- 氣動圓頂式百葉窗
目標(biāo): - 直徑:2″
- 厚度| 非磁性:1-6 毫米
- 厚度| 磁性:Fe 1 mm、Co 2-3 mm、Ni 2 mm
- 間接冷卻
選項
- 質(zhì)量流量控制器 (MKS MF1)
- Z 機械手
產(chǎn)品規(guī)格
安裝法蘭 | DN 63 CF * |
最大限度。電源(直流模式) | 400 瓦直流** |
最大限度。功率(射頻模式) | 400 瓦射頻 ** |
最大限度。電壓直流 | 1200伏 |
連接器 DC/RF | 7/16 型 |
目標(biāo) 形狀 直徑 厚度 冷卻 | 圓形 2″ (50.8 mm) ± 0.2 mm 1 – 6 mm 間接 |
水流 | 分鐘?1升/分鐘 |
最大限度。進(jìn)水溫度 | ?< 28°C |
最大限度。水壓力 | 3 巴 |
管徑 | ?6×1 mm 聚四氟乙烯 |
磁鐵材料 | 釹鐵硼 (NdFeB) |
磁鐵最大值?溫度 | 200℃ |
內(nèi)部氣動百葉窗 | 是 – 圓頂型百葉窗 |
原位傾斜模塊 | 是的,范圍 +45° ÷ -10° |
煙囪 | 是的 |
典型速率 Cu, 140 mm 距離 Ti, 140 mm 距離 | 45 納米/分鐘 @ 300 瓦 30 納米/分鐘 @ 300 瓦 |
?內(nèi)部進(jìn)氣口 | 是(VCR 標(biāo)準(zhǔn)) |
工作氣體 | 氬氣 |
最大限度。工作壓力 | 5×10?-3?– 1×10?-1毫巴 |
最佳工作壓力 | 5×10?-3?– 5×10?-2毫巴 |
* 可應(yīng)要求提供其他安裝法蘭(DN 100 CF、DN 160 CF)。
** 最大功率由目標(biāo)材料決定。