PREVAC 磁控濺射系統(tǒng) 032 PRIMS basic MS system是一款使用簡(jiǎn)單但功能齊全的濺射沉積單元，用于可重復(fù)的薄膜層應(yīng)用。即插即用緊湊型設(shè)計(jì)。

磁控濺射系統(tǒng) 032 PRIMS basic MS system工藝室包含3個(gè)用于磁控濺射源（用于金屬和無(wú)機(jī)物）的端口，安裝在向下濺射配置中。最多同時(shí)使用兩個(gè)源（共沉積）襯底臺(tái)適用于直徑不超過(guò)2英寸的樣品，可選擇加熱和旋轉(zhuǎn)。

快速泵送系統(tǒng)（帶手動(dòng)節(jié)流閥）與小體積的工藝室相結(jié)合，使您能夠在短時(shí)間內(nèi)達(dá)到基本壓力。工藝室配有高壓標(biāo)準(zhǔn)的連接法蘭，用于連接當(dāng)前和未來(lái)的設(shè)備，包括：
多達(dá)3個(gè)磁控管源2“，
基板操縱器，
泵送系統(tǒng)，
防止交叉污染的防護(hù)罩，
石英天平，
視口–帶快門(mén)的觀察窗口，
真空計(jì)，
高溫計(jì)

磁控濺射系統(tǒng) 032 PRIMS basic MS system主要特征：

插頭和工作結(jié)構(gòu)
易于使用的移動(dòng)單元，用于快速測(cè)試和濺射涂層
帶有大型真空門(mén)的處理室，便于更換目標(biāo)或基板
配備MS2 100 ISO-K磁控管電源和新型M600DC-PS電源
用于直徑不超過(guò)2〃樣品的襯底臺(tái)
工藝室直徑：dst 355 mm
用于2英寸磁控管源的3個(gè)端口
1個(gè)視口-帶快門(mén)的觀察窗口
防止交叉污染的防護(hù)罩
基本壓力范圍10-7毫巴
帶真空計(jì)的快速泵送系統(tǒng)
Ar氣體質(zhì)量流量控制自動(dòng)加藥
車(chē)輪上的剛性主框架使系統(tǒng)易于放置
手動(dòng)節(jié)流閥