?波蘭 PREVAC MBE分子束外延設(shè)備 Advanced MBE systems是一款用于薄層生長(zhǎng)技術(shù)的先進(jìn)多室平臺(tái)，旨在與其他表面科學(xué)技術(shù)、輔助實(shí)驗(yàn)室設(shè)備和任何配件實(shí)現(xiàn)最大兼容性。

MBE分子束外延設(shè)備多功能模塊化設(shè)計(jì)允許平臺(tái)輕松擴(kuò)展，并與任何其他沉積、分析或制備高壓/超高壓裝置集成，例如通過(guò)徑向分布或隧道傳輸系統(tǒng)。

MBE分子束外延設(shè)備Advanced MBE systems適用于單晶的薄膜沉積，具有磁性能、形貌、晶體學(xué)、薄膜厚度等原位表征功能。

PREVAC MBE分子束外延設(shè)備 Advanced MBE systems可包含10個(gè)用于蒸發(fā)源的端口，襯底臺(tái)適用于直徑高達(dá)8英寸的樣品，并可選擇加熱和旋轉(zhuǎn)。沉積過(guò)程可以在較寬的溫度范圍內(nèi)（從LN2到1400?C）進(jìn)行控制，并且可以通過(guò)PLC控制器進(jìn)行完全的軟件編程和控制。

PREVAC MBE分子束外延設(shè)備 Advanced MBE systems配有超高壓標(biāo)準(zhǔn)的連接法蘭，用于連接當(dāng)前和未來(lái)的設(shè)備，包括：
最多10個(gè)帶法蘭DN 63CF（高溫或低溫、單絲或多絲）的光源，
帶法蘭DN 63CF的獨(dú)立百葉窗，
帶有電源的閥式裂解器源，
帶電源的大功率電子槍，
具有溫度范圍（從LN2到1400?C）的基板操縱器，
泵送系統(tǒng)（基于備用泵、TMP、離子泵和TSP泵），
帶設(shè)備的真空計(jì)，
用于線性傳輸系統(tǒng)的入口，例如來(lái)自負(fù)載鎖、徑向分配室、傳輸通道或傳輸箱的入口，
帶Z操作器的石英天平，
RHEED/TorrHEED帶設(shè)備，
用于相鄰層或掩模的電動(dòng)或手動(dòng)快門(mén)（跟隨襯底），
額外的氣體配量系統(tǒng)，例如用于反應(yīng)沉積過(guò)程，
視口–帶百葉窗的觀察窗，
殘余氣體分析儀，
光束通量監(jiān)測(cè)器，
診斷設(shè)備的加熱視口。
最終設(shè)計(jì)和功能取決于系統(tǒng)配置。

該系統(tǒng)的模塊化設(shè)計(jì)允許通過(guò)徑向分布傳輸解決方案或傳輸隧道與任何其他研究平臺(tái)進(jìn)行組合和集成。