光束通量監測器可以測量 MBE 應用中的光束等效壓力 （BEP）。
它通常安裝在線性移位/ z級上，以允許燈絲靠近基板定位，并在處于待機位置時包括保護罩。
讀數和完全控制（設備狀態，Z軸移位）由專用軟件應用程序和Ion多儀表控制器提供。應用程序可以與Synthesium集成 – 先進的沉積軟件工具。3
技術數據
| 安裝法蘭 | DN 63CF（不可旋轉） |
| 測量系統 | 貝亞德-阿爾珀特離子計 |
| 測量范圍 | 10-3至 2×10-11托 |
| 線性行程 | 150 mm （其他應要求提供） |
| 最大外徑 | 63 毫米 |
| 燈絲 | 雙絲，釔涂層銥 |
| 控制器 | 3 通道 MG15 – 通信接口：RS232/485、以太網、PROFINET（選件 – 按訂單指定） |
| 烘烤溫度 | 最高 200 °C |
特征：
- 最佳環保值測量
- 離子電流測量 [nA 單位]
選項：
- 機動化
- 定制插入長度
