石英天平 QO 40A1 測量涂層厚度 蒸發膜和濺射鍍膜

石英天平QO 40A1可在沉積過程中實時、漸進地指示涂層厚度,從而在涂層生產中實現高精度和可重復。可以監測蒸發膜濺射鍍膜的厚度。傳感器頭是一個水冷式非磁性外殼,永久放置在真空系統中。晶面與水冷饋通管平行。石英天平 QO 40A1 安裝在帶有兩個 ?40 管和 Microdot S-6 同軸連接器的 DN 50CF 法蘭上。定制插入長度 130 – 500 mm(可根據要求提供其他)。

技術數據:

安裝法蘭DN 40CF(可旋轉)
最高工作溫度最高 300°C(帶水冷)
水冷(必需)水流量 > 0.5 l/min
溫度: 20 – 30 °C
最大壓力: 6 巴
晶體頻率4.8 – 6 MHz,直徑 14 mm(行業標準)
插入長度取決于腔室的規格和幾何形狀
烘烤溫度最高 150 °C

特征:

  • 水碰撞傳感器頭
  • 易于更換的石英

選項:

  • 定制插入長度
  • 帶或不帶集成手動/電動氣動快門不同的安裝法蘭(例如DN 40 KF)
  • 可根據要求提供其他石英平衡幾何形狀(例如垂直頭部幾何形狀)
  • 線性移位

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