石英天平QO 40A1可在沉積過程中實時、漸進地指示涂層厚度,從而在涂層生產中實現高精度和可重復。可以監測蒸發膜和濺射鍍膜的厚度。傳感器頭是一個水冷式非磁性外殼,永久放置在真空系統中。晶面與水冷饋通管平行。石英天平 QO 40A1 安裝在帶有兩個 ?40 管和 Microdot S-6 同軸連接器的 DN 50CF 法蘭上。定制插入長度 130 – 500 mm(可根據要求提供其他)。
技術數據:
安裝法蘭 | DN 40CF(可旋轉) |
最高工作溫度 | 最高 300°C(帶水冷) |
水冷(必需) | 水流量 > 0.5 l/min 溫度: 20 – 30 °C 最大壓力: 6 巴 |
晶體頻率 | 4.8 – 6 MHz,直徑 14 mm(行業標準) |
插入長度 | 取決于腔室的規格和幾何形狀 |
烘烤溫度 | 最高 150 °C |
特征:
- 水碰撞傳感器頭
- 易于更換的石英
選項:
- 定制插入長度
- 帶或不帶集成手動/電動氣動快門不同的安裝法蘭(例如DN 40 KF)
- 可根據要求提供其他石英平衡幾何形狀(例如垂直頭部幾何形狀)
- 線性移位