洪水源 FS 40A1 電子槍 電子驅(qū)動(dòng)源 半導(dǎo)體電荷中和 XPS AES SIMS

低成本電子驅(qū)源,用于XPS/AESSIMS應(yīng)用中絕緣體或半導(dǎo)體的電荷中和。洪水源在兩個(gè)能量范圍內(nèi)運(yùn)行,完全由軟件控制,還可以提供定制的插入長(zhǎng)度(145 – 421 mm,其他根據(jù)要求)和屏蔽材料,例如 mu-金屬、銅。

數(shù)據(jù)規(guī)格:

安裝法蘭DN 40CF(不可旋轉(zhuǎn))
能量范圍0.01 – 1000 eV
采樣電流高達(dá) 100 μA
陰極類型釷鎢
屏蔽銅(用于μ金屬腔室)或μ金屬(用于不銹鋼腔室)
插入長(zhǎng)度最小 145 毫米(可根據(jù)要求提供其他),外徑:33.6 毫米(μ金屬),35 毫米(銅)
FWHM取決于工作距離(例如 10 mm 對(duì)距離 30 mm)
典型工作距離20-100 毫米
烘烤溫度最高 250°C
工作壓力< 5 × 10-6毫巴

特征:

  • 高電子束電流
  • 可選能量范圍
  • 穩(wěn)定排放
  • 光束輪廓控制

選項(xiàng):

  • 線性移位
  • 定制插入長(zhǎng)度
  • 源屏蔽材料(μ金屬或銅)

洪水源電源 FS40-PS

帶觸摸屏的新電源專用于洪水源 FS40A1。所有可調(diào)參數(shù)都顯示在帶觸摸屏的大型TFT顯示屏上。所有設(shè)置都可以手動(dòng)調(diào)整,也可以在設(shè)備打開(kāi)后自動(dòng)存儲(chǔ)和調(diào)用。該裝置還具有內(nèi)置定時(shí)器和自動(dòng)待機(jī)模式。FS40-PS 可作為全寬 19“ 機(jī)架安裝單元(3U 高)或獨(dú)立式提供。設(shè)備可以通過(guò)其中一個(gè)可用接口進(jìn)行遠(yuǎn)程控制。該裝置還可以使用模擬接口遠(yuǎn)程控制光束能量、發(fā)射電流、聚焦和提取器電壓。自動(dòng)保存功能,用于保存參數(shù)/單位預(yù)設(shè)并在重新啟動(dòng)后自動(dòng)應(yīng)用它們。

技術(shù)規(guī)格:

電源電壓100 V – 240 V,50/60 Hz
(最大功耗 75 W)
光束能量(低能量
范圍)
0.01 – 50 eV,分辨率 0.01 eV
光束能量(高能量
范圍)
50 – 1000 eV,分辨率 0.1 eV
發(fā)射電流1 – 1000 μA,分辨率 0.1 μA
聚焦電壓300 – 1000 V,分辨率 0.1 V
提取器電壓0 – 150 V,分辨率 0.1 V
模擬輸入4 (0-10V)
定時(shí)器雙模定時(shí)器 0s – 99h 59m
通信接口RS232/485,以太網(wǎng)
通信協(xié)議MODBUS-TCP
用戶界面7“ TFT 顯示屏,帶觸摸屏,數(shù)字編碼器
界面語(yǔ)言英語(yǔ), 德語(yǔ), 波蘭語(yǔ)
尺寸483 x 133 x 435 mm(寬 x 高 x 深),19“ 機(jī)架安裝或單獨(dú)安裝
重量(大約)5.2 千克

應(yīng)用:

FS40-PS 電源設(shè)計(jì)用于 FS40A1 電子泛洪源,后者用于 XPS/AES 和 SIMS 應(yīng)用中絕緣體和半導(dǎo)體樣品的電荷中和。

選項(xiàng):

– 軟件控制(版本專業(yè)版、擴(kuò)展版或庫(kù)模塊)。


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